国林科技2月21日在投资者互动渠道表明,现在该职业专用臭氧设备首要由日美韩企业独占,国产化率较低,国产设备进入职业壁垒较高。企业首要竞赛长处是,公司现在已把握半导体职业用臭氧整理洗刷设备制作及规划工艺多项要害技术。公司半导体清洗专用臭氧设备首台套已于2022年下半年交付给客户,现在正处于产品验证阶段。
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