(1)开启等离子刻蚀机电源开关、冷却水开关，开氧气(O2)和四氟化碳(CF4)气瓶开关(两小格即可);
(3)将扩散完、待加工的硅片整齐地叠在一起，在最上面、最下面的硅片上加同规格的塑料薄片，用四氟片压好，盖上盖板，平衡拧紧螺丝，(控制好力度，要压紧，但也不要太过用力，以免压碎硅片)放入离子刻蚀机反应室，对准盖好上盖板;
(4)打开机械泵，开主抽，开始抽真空，抽到最低，同时开启氧气和四氟化碳，并按工艺条件调节氧气和四氟化碳的流量比例;
(5)打开射频电源，调节电压到工艺设定条件，真空室开始发出粉红偏白的辉光，再调节C1和C2匹配，使入射功率最大，反射功率最小;
(8)打开上盖板，取出已去边的硅片，拿开上下塑料薄片，取上、下及中间(每隔10片左右抽一片)的硅片，用万用表检测硅片四个周边电阻值是不是满足工艺规范之要求;
(9)工作结束后，把硅片夹放回真空室，开主抽，抽一会儿线秒即可)，关主抽，关机械泵，关射频电源和冷却水，关闭氧气和四氟化碳气瓶开关。
M42系列等离子体刻蚀机具有占地面积小、装片容量大、生产率高等优点。同时，还具有手动/自动功能。除装卸片要人工操作外，其余过程实现了全自动，保证了工艺的准确性和重复性，大大地提高了产品质量。该设备大多数都用在太阳电池周边掺杂硅的刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。
本光伏设备由反应室、真空系统、送气系统、高频电源、匹配器等部分所组成，见图5.5所示。
图5.6为等离子体刻蚀机系统示意图。其反应室采用立式结构，射频功率通过电感耦合到反应室内，保证周边刻蚀均匀。真空系统采用主抽和预抽两路抽气，既能保证本底抽空的时间，又能使气氛扰动减小。送气系统通断气均采用电磁阀控制，工艺气体采用质量流量计控制，可靠性高，重复性好。片架可旋转，提高了刻蚀的均匀性。在泵口有一路稀释气体，它可以延长泵的维护周期和常规使用的寿命，在排气出口加有一路N2可使排放尾气达到排放标准。射频电源的功率采取了闭环自动控制，并有阻抗匹配器可保证射频输出功率几乎完全耦合到反应室内。电气控制具有手动/自动控制功能，在手动状态下，能够直接进行真空检漏，不可以进行工艺实验。采用PLC进行工艺自动控制，可靠性高，稳定性高。各电气元器件均采用插装式，便于维修和更换。
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盛雄激光90W绿光皮秒BC电池大光斑刻蚀设备重磅发布随市场需求的发展，2020年国家关于“碳达峰”“碳中和”一系列要求提出后，太阳能光伏迎来了历史机遇期，光伏PERC电池大扩产，激光设备需求爆发式的增长。国家十四五规划中提出全力发展光伏、锂电等清洁能源，激光加工技术被大范围的应用于已有PERC电池
制绒的目的是在硅片表明产生绒面面，以减少电池片的反射率，绒面凹凸不平能增加二次反射，改变光程及入射方式。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）扩散是为电池片制造心脏，是为电池片制造P-N结，POCl3是当前磷扩散用较多的选择。POCl3为液态磷源，液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性高、制得PN结
1.1常规刻蚀酸抛设备使用HF/HNO3混合溶液，要达到PERC电池的要求的0.3g以上的减重，平整度抛光度才能满足规定的要求，药耗量增加，成本增加2-3倍。1.2高浓度的含氮、含氟元素排放给废污水处理造成极大地负担，光伏电池制造公司环保压力日益增大，使用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。1.3采用无机碱（KOH/NaOH）在
刻蚀目的由于在扩散过程中，即使采用背靠背的单面扩散方式，硅片的所有表面（包括边缘）都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，此短路通道等效于降低并联电阻。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）经过刻蚀工序，硅片边缘带有的磷将
扩散过后的下一个工序是刻蚀，由于扩散采用背靠背扩散，硅片的边缘没有遮挡也被扩散上磷（边缘导通状态），太阳能电池PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，太阳能电池片会因此失效。同时此短路通道等效于降低并联电阻。另外由于在扩散过程中氧的通入，硅
Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自中国的一家主要生产商。可见，成功的制造工艺能激励生产商增加订单。据悉，Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运作情况已经证明其为目前市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的商战中，更多的电池生产商依赖于湿化学工艺；由Schmid湿法机器订单慢慢的变多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线，Schmid的选择性发射极技术将继续其成功之道。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。采访中，我们不难发现到：Schmid的湿化
成功的制造工艺激励生产商增加订单Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运作情况证明其为市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的战争中，更多的电池生产商依赖于湿化学工艺；由Schmid湿法机器订单慢慢的变多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线，Schmid的选择性发射极技术继续其成功之道。Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自一家中国的主要生产商。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。Schmid的湿化学工艺以最小的成本为客户提高明显地竞争优势。以
12月22日，中国招标投标公共服务平台发布2023-2024年中国联通青海分公司太阳能框架采购项目招标公告，采购370080WP太阳能供电系统。采购预算金额388.58万元(不含税）；协议有效期为框架协议签订之日起至2024年12月31日或份额执行完成。
12月22日，北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾（2023年12月18日-12月22日）。政策篇云南省明确2024年风电、光伏上网电价12月14日，云南省发改委、云南省能源局联合下发《关于加强完善新能源上网电价政策有关事项的通知》，通知明确上网电价机制：1）2021年1月1日—2023年12月31日全容量并网的项目，
2023年11月，全省全社会用电量318.52亿千瓦时，同比增加15.85%；累计用电量3703.26亿千瓦时，同比增加4.01%。全省发电量266.98亿千瓦时，同比增加15.85%，累计发电量3098.40亿千瓦时，同比增加2.18%。电力生产情况（一）发电量情况。11月份当月，全省发电量266.98亿千瓦时，同比增加15.85%。其中水电11
近日，经德国哈梅林太阳能研究所（ISFH）权威认证报告，隆基绿能自主研发的背接触晶硅异质结太阳电池（HeterojunctionBackContact,HBC）,利用全激光图形化可量产制程工艺获得27.09%的电池转换效率，创造单结晶硅太阳能电池效率的新世界纪录。这是继2022年11月隆基绿能创造26.81%的硅太阳能电池效率世界
今年以来，全省上下坚持以习新时代中国特色社会主义思想为指导，坚决贯彻落实党中央、国务院决策部署和省委、省政府工作安排，坚持稳中求进工作总基调，完整、准确、全面贯彻新发展理念，锚定高水平发展第一个任务不动摇，扎实推进“三个年”活动，坚持不懈稳增长、促振兴、防风险。11月份，随着各项
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12月8日，湖北来凤县与苏州科韵激光科技有限公司举行湖北科韵激光薄膜太阳能智能装备落户项目投资协议签约仪式。据了解，苏州科韵激光科技有限公司是一家集开发、销售、生产制造、服务于一体的高新科技公司。
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12月12日，中广核新能源发布2023年11月发电量情况，依据公司初步统计，2023年11月集团按合并报表口径完成发电量1,660.1吉瓦时，较2022年同比增加0.7%。其中，中国风电项目发电量增加30.7%、中国太阳能项目发电量增加10.5%、中国热电联产及燃气项目发电量增加25.2%、中国水电项目发电量减少27.0%、韩国
北极星储能网获悉，12月11日，内蒙古兴安盟工信局发布《兴安盟工业园区产业优先发展目录》，其中在装备制造中包含风电装备、太阳能光伏制造、氢能装备、储能设备。详情如下：1.风电装备：包括超长叶片、风力发电机、轮毂、齿轮箱、控制管理系统、高塔筒等配套及关键零部件的制造与整机制造，风电机组叶片等
据海关广东分署最新发布，今年前11个月，广东外贸进出口总值7.52万亿元，同比下降0.3%。其中，出口4.94万亿元，增长2%；进口2.58万亿元，下降4.4%。前11个月，广东一般贸易、保税物流进出口增长，比重提升——进出口额分别为4.32万亿元和1.32万亿元，增长4.4%和8.1%，占广东进出口总值的比重提升2.6个
2023年12月15日，蚌埠中环污水处理有限公司第四污水处理厂光伏发电项目顺利建成并实现并网发电。尹悦摄影该项目自2023年8月7日起开工建设，采用高效单晶硅光伏板与柔性支架方案在四厂氧化沟、二沉池上空设置分布式光伏电场，整体定位为“自发自用、余电上网”；结合再生水回用工程、智能化管控工程建设
近日，上能电气与国家电投集团绿能科技发展有限公司（国核电力规划设计研究院有限公司）以下简称“绿能科技（国核电力院）”签署框架合作协议，双方将在能源领域深入开展项目合作。绿能科技（国核电力院）党委书记、董事长李启钊，党委委员、总会计师方格飞，上能电气联合发起人、总裁段育鹤，开发公司
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12月22日，六安市大气污染防治工作领导小组办公室关于印发六安市“十四五”应对气候平均状态随时间的变化规划的通知，通知指出，增加农村地区清洁能源供应，鼓励各个地区因地制宜开展“光伏+农业”模式，推进中广核霍邱农光互补光伏发电、龙源霍邱冯瓴乡渔光互补等光伏发电项目建设。原文如下：各县区人民政府，市开发区管
12月21日，林洋新能源镇江金东纸业19.75MWp（三期）屋顶分布式光伏发电项目成功并网。项目位于江苏镇江金东纸业股份有限公司厂区，屋顶总面积约20.82万㎡。该项目按照“自发自用、余电上网”的运行方式开展建设。第三期项目建成后预计首年发电量约2114万kWh，25年年平均发电约1980万kWh，截止目前林洋
12月21日，“5GWHJT先进生产线及储能项目”签约仪式在惠山经开区管委会顺利举行。SUNOVASOLAR项目一期于2021年9月正式投产，2022年销售20.5亿元，2023年1-11月份销售22亿元，出口额19.69亿元，税收2600万元。项目二期总投资约20.5亿元，固定投资约10亿元，计划用地约130亩，建成约14万平米厂房，预计20
从中国葛洲坝装备官微获悉，12月21日，敦煌10万千瓦光伏电站建设项目并网。据悉，敦煌光伏项目位于甘肃省敦煌市七里镇光电产业园区，由中能装备与葛洲坝装备联合投资建设。该项目具备10万千瓦的装机规模，占地3000亩，并配置了15MW/60MWh（最大充放电功率15兆瓦，总储容量60兆瓦时）的储能系统。项目并
北京安定生物质能源有限公司：你单位报送的《安定循环经济园区节能报告》及相关材料收悉。该项目建设内容最重要的包含生活垃圾焚烧发电厂、渗滤液处理站、炉渣综合利用厂等。经审查，具体意见如下：一、原则同意该项目节能报告。二、项目建成运行后，年综合能耗控制在420957吨标准煤以内。三、你单位在落实
12月21日，国能韩城100兆瓦复合光伏发电项目开工仪式在项目建设现场举行.国能韩城光伏发电项目场址位于陕西省韩城市芝阳镇，项目建成后每年可产生清洁电能1.47亿度，年均节省标煤4.49万吨，减少二氧化碳排放12.26万吨，烟尘4.71吨，氮氧化物约26.37吨，拥有非常良好的经济效益、环境效益和社会效益，将有效
12月20日，杭州市发展和改革委发布关于公开征求《碳达峰碳中和背景下杭州新能源（储能）发展的策略规划（征求意见稿）》意见的通知，通知指出，推进分布式光伏发展。按照“宜建尽建”原则，积极开展多场景分布式光伏的开发建设。全面深入推广公共机构屋顶光伏建设，党政机关办公用房、公交停车场、车站、
近日，由中国三峡新能源（集团）股份有限公司（以下简称三峡能源）所属内蒙古库布其光氢治沙新能源有限公司投资建设的蒙西基地库布其200万千瓦光伏治沙项目（以下简称库布其光伏治沙项目），在鄂尔多斯市杭锦旗实现全容量并网。库布其光伏治沙项目是“十四五”时期国家第一批开工建设的大型风电光伏基
