6月15日,中微公司首台 8 英寸甚高频去耦合反应离子(CCP)刻蚀设备 Primo AD-RIE 200 顺利付运客户生产线。
据悉,Primo AD-RIE 200 是中微公司自主研发的新一代 8 英寸甚高频去耦合反应离子(CCP)刻蚀设备。基于已被业界广泛认可的 12 英寸 CCP 刻蚀设备的成熟工艺与特性,Primo AD-RIE 200 在技术创新和生产效率方面都有了逐步提升,能够很好的满足不同客户 8 英寸晶圆的加工需求。
为提高生产效率,Primo AD-RIE 200 刻蚀设备可灵活配置多达三个双反应台反应腔(即六个反应台)。此外,Primo AD-RIE 200 提供了可升级至 12 英寸刻蚀设备系统的灵活解决方案,以实现用户生产线未来可能扩产的需求。
据了解,中微公司Primo nanova®产品已成功进入海内外十余家客户的晶圆生产线,在领先的逻辑芯片、DRAM 和3D NAND厂商的生产线上实现大规模量产。依据公司业绩说明会材料,ICP刻蚀市场规模76亿美元,而CCP刻蚀市场规模仅为48亿美元。
此前,中微公司第100腔Primo nanova®刻蚀设备的顺利交付,是公司ICP刻蚀产品业务发展新的里程碑,标志着刻蚀产品发展迈入新的阶段。
关键字:中微公司编辑:北极风 引用地址:中微公司首台8英寸CCP刻蚀机PrimoAD-RIE200付运
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