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中微半导体5nm刻蚀机成功打入台积电生产线

来源:金属蚀刻设备    发布时间:2024-01-01 10:15:37

简要描述:

刻蚀是半导体制作中非常要害的一环,刻蚀经过物理或化学办法将硅片外表不需要的资料去除,从而将掩膜图...

  刻蚀是半导体制作中非常要害的一环,刻蚀经过物理或化学办法将硅片外表不需要的资料去除,从而将掩膜图形正确的复制到涂胶硅片上。

  刻蚀进程要使用到刻蚀机这一设备。现在,我国在光刻机范畴尽管还难以打破,但在刻蚀机范畴,我国现已完成包围。

  尹志尧是半导体范畴的大佬级人物,在英特尔、使用资料等巨子供职的20多年。现在,使用资料在全球刻蚀机商场中,以19%的占比排名第三位。

  因此,尹志尧有着丰盛的职业经历。彼时,与尹志尧一起回国的,还有30多人的精英团队。在这群人的共同努力下,中微半导体在介质刻蚀范畴不断深挖,成为职业新黑马。

  十余年的坚持让中微半导体成功完成了从65nm,到最抢先的5nm的霸占。并且,中微半导体5nm刻蚀机,还成功打入台积电生产线。

  中微半导体的这一系列成果,让美国也感到了压力。为争夺我国商场,在2015年,美国商务部解除了对我国等离子体刻蚀设备的出口控制。

  据日前IPRdaily与incoPat联合发布的“科创板225家上市企业有用发明专利排行榜”显现,中微半导体排在了第六位,共具有1142项全球发明专利,数量可观。

  中微半导体年年都会投入很多的资金用于研制,2019年,公司投入4.25亿元用于研制。而这一年公司营收为19.47亿元,研制投入占营收的份额为21.8%左右。

  这一份额可与很多海外科技巨子相媲美。在巨大的研制投入之下,中微半导体天然能如此快获得亮眼的打破。

  当时,中微半导体的成绩不断改进,据中微半导体2020年度成绩预告显现,公司归属于母企业所有者净利润同比至少增加133.34%,为4.4亿-5.2亿元。

  中微半导体的快速兴起令人瞩目。但也应该认识到的是,现在公司规划有限,难以同半导体巨子相抗衡。

  并且,全球刻蚀设备商场正处于寡头独占状况,泛林半导体、TEL与使用资料三家巨子,便占有了职业将近91%的商场。这给中微半导体的开展带来了应战。

  根本竣工开端试产:面积缩小45%、功能提高15%.pdf(105.52 KB)

  ,别的20%大多数都用在先进封装及特别制程。而先进工艺中所用到的EUV极紫外光刻

  的宽度,也被称为栅长。栅长越短,则能够在相同尺度的硅片上集成更多的晶体管。现在,业界最重要的代工企业

  纳米制程试产、估计2020年量产的一起,国产设备亦传来好消息。日前上观新闻报道,

  已提交IPO教导存案 /

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