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国产刻蚀机巨子兴起耗时11年从65nm到5nm无惧美方的镇压

来源:金属蚀刻设备    发布时间:2024-01-05 17:06:14

简要描述:

芯片制作有三大中心环节:薄膜堆积、光刻与刻蚀。其间,光刻环节本钱最高,其次就是刻蚀环节。光刻是将...

  芯片制作有三大中心环节:薄膜堆积、光刻与刻蚀。其间,光刻环节本钱最高,其次就是刻蚀环节。光刻是将电路图画在晶圆之上,刻蚀则是沿着这一图画进行雕琢。这一过程中,会用到的设备就是刻蚀机。

  相较于我国在光刻机范畴的巨大短板,在刻蚀机范畴,在以中微半导体为首的刻蚀机巨子的带领下,我国刻蚀机已达到了世界领先水平。

  中微半导体成立于2004年,由刻蚀机职业风云人物尹志尧一手创立。尹志尧是硅谷最有成果的华人之一,曾在英特尔、LAM研究所、使用资料等企业供职,在半导体范畴有着20余年的经历。

  在他60岁,尹志尧抛弃百万美元年薪,顶着美国重重压力,带着三十余人精英团队回国,并创立了中微半导体。

  2019年底,中微半导体的5nm刻蚀机取得台积电认可,成功用在其生产线上。这标志着,我国刻蚀机已达到业界先进水平。

  跟着中微半导体产能的逐步提高,以及在国产代替大潮的推进下,中微半导体将在刻蚀机范畴占有更多的比例。

  并且,尹志尧在第二届我国芯创年会上表明,我国设备公司有必要进入世界商场。这在某种程度上预示着,中微半导体还将冲击海外商场。

  中微半导体的开展引起了美方的警觉,因而,日前中微半导体被美国国防部列入“我国涉军企业名单”。此前,中芯世界也遭受了这一待遇。

  对此,1月15日中微公司回应称,这一状况对公司生产经营没有本质影响,公司现在进出口事务状况一切正常。

  刻蚀机制作难度虽较光刻低,但半导体工艺制程细小且杂乱,并且半导体工艺制程的不断进化与结构设计更新,都给刻蚀机的制作带来了不小的应战。

  现在,泛林半导体、使用资料、东京电子是全球前三大刻蚀机巨子,占有了半导体刻蚀机范畴94%的商场。而我国企业的占比仍是非常有限。

  但在中微半导体、北方华创等企业的快速兴起下,国产刻蚀机现已迎来曙光。信任,国产刻蚀机不久后也能在世界商场上大放异彩,令人等待。

 


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