中微半导体自主开发的12寸蚀刻机台Primo-DRIE，已在全球成功打进坐落亚洲9家的客户的12条晶片出产线，并顺畅量产了两百多万45及40奈米技能的晶圆，28奈米部分制程技能也通过了验证。其线%的重复性和安稳才能。中微半导体设备公司作为一家国际性公司，十分乐意在台湾出资、生根，成为亚洲地区的研制、出产及制作基地，与客户及供货商一同深耕台湾半导体工业。
中微半导体树立于2004年，台湾分公司于2007年挂号树立，并于2010年末进驻竹南科学园区。厂房建置自2011年2月开端做，于极短时间内即完结厂内无尘室设备的工作，并于5月下旬开端了第一台十二寸蚀刻自有产品Primo-DRIE的拼装测验，估计于9月中即可正式出货给台湾重要的客户。
2011年中微半导体已投入金额约1亿元，完结台湾出产线的树立，AMEC台湾的产线不单单担任出产机台，还包括后端的拼装、测验，也就是说从台湾工厂出货的机台，将可以直接运送到客户端作出产用，而不再需求运到第三地作其他的加工或是测验。
未来将再投入2至3亿元树立研制中心，和客户以及本地的要害零组件厂商进行一同研讨开发，出产新一代的产品（CIP，Continuous Improvement Parts），以带动国内科学园区的产量，更能藉由供给练的在地化，添加就业机会。
中微还将于今年末举办台中分公司新址扩展及启用仪式，以供给中部客户更即时的服务以及解决方案，到时，竹南科学园区制作暨研制中心将同新竹分公司、台南分公司、台中分公司以及新竹和台南物流中心一同，组成完好的研制、制作及服务链，为台湾半导体客户供给最好的服务。
