每经AI快讯，有投入资金的人在出资者互动渠道发问：费事问下，咱南大光电产品系中，除了光刻外，在芯片的清洁、堆积、蚀刻等，还有对应的产品吗？
南大光电（300346.SZ）4月4日在出资者互动渠道表明，公司氟类电子特气如三氟化氮大多数都用在芯片制作中的腔体清洗、蚀刻工艺。
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