2023年11月22日音讯，据国家知识产权局公告，晶瑞电子资料股份有限公司请求一项名为“一种蚀刻组合物及其使用“，公开号CN117089842A，请求日期为2023年8月。
专利摘要显现，本发明公开了一种蚀刻组合物及其使用，以质量百分含量计，其包括过氧化氢6.0%15.0%、水70.0%88.2%、式(Ⅰ)所示化合物2.5%10.0%、烷基苯醚和/或烷氧基苯醚0.5%5.0%、缓冲剂系统2.5%5.0%、螯合剂0.3%1.0%；此蚀刻技能专利旨在进步蚀刻进程的功率和选择性。
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