早在2018年末，中微半导体就曾对外泄漏，其自主研制的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证，功能优秀，将用于台积电的全球首条5nm制程出产线。值得一提的是，中微半导体也是仅有进入台积电7nm制程蚀刻设备的大陆本乡设备商。据悉，中微半导体与台积电在28nm制程时便已开端协作，并一向延续到10nm和7nm制程。
近来，中微半导体发布会了在2019年的财报，2019年的收益达到了19.47亿元，同比增加为18.77%，而归母纯利润是1.89亿，同比增加为107.51%，年报中表明公司开发的高端刻蚀设备已在各大世界闻名厂商的65nm到7nm的芯片出产线上。
别的，财报还显现，中微半导体依照每个客户的需求现已开发出了5nm刻蚀设备，而且取得了职业抢先客户的批量订单。尽管财报并未揭露该“抢先客户”的详细姓名，不过应该能确认是台积电，由于现在只要他们量产了5nm工艺。
而中微半导体5nm刻蚀机成功取得台积电的批量收购，也反响了我国厂商在半导体设备范畴的大打破。
