的化学反应来去除薄膜未被光阻覆盖的部分，而达到蚀 刻的目的(mùdì)，这种蚀刻方式也是所谓的湿式蚀刻。 因为湿式蚀刻是利用化学反应来进行薄膜的去除，而 化学反应本身不具方向性，因此湿式蚀刻过程为等向性， 一般而言此方式 不足以定义3微米以下的线微米以上的线宽定义湿式蚀刻仍然为一可选择采用的 技术。
三、产品特点： 液体三氯化铁是固体三氯化铁的良好替代品，是城市污水及工业废水净化处理的高效廉价絮凝剂，具有非常明显的沉淀重金属及硫化物、脱色、
脱臭、除油、杀菌、除磷、降低出水COD及BOD等功效。 与其它废水净化处理絮凝剂相比具有如下特点： 1、与固体三氯化铁相比相同的浓度价格低40%以上，可完全替代固体三氯化铁； 2、本身为水溶液省去了固体絮凝剂配制溶液的繁琐操作及溶解不完全的问题； 3、可取代液体或固体硫酸铝、聚合氯化铝、聚合硫酸铁等絮凝剂，处理成本与 其相比可降低30%以上； 4、絮凝性能优良，沉降速度高于铝盐系列絮凝剂如硫酸铝、聚合氯化铝等，且 形成的矾花密实、沉降快、能减少跑矾 花现象，使滤池反冲洗次数减少。 5、处理后产生的污泥量少，可非常大地节省污泥处理费用； 6、适应水体pH值范围广，在pH值4～12的宽范围内均可使用，最佳使用pH 值范围６．０~８．５。
蚀刻是将材料利用化学反应或物理撞击 作用而去除的技术(也即利用合适的化学溶液 腐蚀去除材质上未被光阻覆盖（感光膜）的
所谓(suǒwèi)干性蚀刻乃是利用化学品（通常是盐 酸）与所欲蚀刻之薄膜起化学反应，产生气体或可 溶性生成物，达到图案定义之目的。在干蚀刻技术 中，一班多采用电浆蚀刻与活性离子蚀刻。而所谓 干蚀刻，则是利用干蚀刻机台产生电浆，将所欲蚀刻 之薄膜反映产生气体由PUMP抽走，达到图案定义之 目的。
1.在传送方式、喷淋方式, 目的是提高生产效率、蚀 刻速度和蚀刻均匀性。
2. 喷淋杆或喷嘴的移动为了使溶液能全面地喷淋到板子 表面每个部位, 并促使板面溶液加快(jiā kuài)流动, 是移动喷淋 杆或喷嘴。 目前的水平传送喷淋式蚀刻设备的喷嘴与喷淋 杆摆动的结构有多样不同。使得喷淋溶液不固定于一个位
★ 按图红加工平面凹凸型的金属材料制品，如：文 字、数字及复杂图型、图案。制造各种精密的，任意 形状的通孔零件。
域的保护摸去处，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶 解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空(lòukōng)成型的效果。
蚀刻 常用介 (shíkè) FeCl3：三氯化质铁因其工艺稳定，操作便捷，价格便
宜，因此为广大蚀刻加工企业和事业单位所采用；主要在印制 电路、电子(diànzǐ)和金属精饰等工业中被广泛采用，一般用
置, 就让喷嘴摆动。摆动方式有的是转动喷管摇摆喷嘴 角度, 有的是平移喷管移动喷嘴位置, 也有水平旋转喷管 而使喷嘴旋转喷液。喷嘴摆动方法不一样, 目的是为提高 蚀刻均匀性。
一、物理性质 外 观：红棕色液体、分子式：FeCl3 分子量：162.21 比 重：1.30～1.50g/cm3 二、产品用途： 三氯化铁在环保污水处理中用作净化絮凝剂；在饮用水处理中用作净水剂；电子行业中用作线路板蚀刻剂；轻 工行业用作不锈钢制品的腐蚀；有机合成中用作二氯乙烷的催化剂；印染工业中用作靛蓝染料的氧化剂和印染媒染剂；染料工业 用作中间体原料；在医药制药中用作催化的原料；在建筑混凝土中渗入其溶液后能增加建筑物强度、抗腐蚀性和防止渗水；三氯 化铁是生产甜菊糖的主要的组成原材料，在生产不溶性硫磺中作催化剂，也被大量用于电视机阴罩的生产。
三氯化铁蚀刻液适用于网印抗蚀印料、液体感光胶、干膜、 镀金蚀层的印制板的蚀刻（不适用于镍、锡、锡铅合金等 抗蚀层）
仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工 件等之加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦 能够适用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件 精密蚀刻产品的Βιβλιοθήκη Baidu工，特别在半导体制程上，蚀
反应（因此要密封存放）；除溶于水之外，氢氧化钠还易 溶于乙醇、甘油；但不溶于、丙酮、液氨。其液体是 一种无色，有涩味和滑腻感的液体。
