数据显示,我国集成电路进口金额已连续多年超过石油。2015年进口额超过2299亿元,2018年突破3000亿元。
严重依赖进口的局面,导致我国集成电路国产化率极低,在很多关键技术上常常被外国企业“卡脖子”。华为、中兴通讯被美国制裁,就是核心技术被“卡脖子”导致的问题。
为了摆脱被“卡脖子”的命运、结束处处受制于人的局面,近年来我国大力推动集成电路产业的发展。
在国家力量的支持下,目前不少集成电路企业已经成功突破海外的技术垄断,跻身全球行业前列,中微公司便是其中之一。
公开资料显示,中微半导体成立于2004年,至今为止已发展16年之久。公司在半导体领域主攻蚀刻机的研发制造,是中国唯一的蚀刻机巨头。
相比光刻机,蚀刻机的知名度并不算高,但在晶圆生产制作的完整过程中,蚀刻机的存在同样重要。
不同于光刻机,蚀刻机主要负责芯片的蚀刻阶段。即负责把光刻阶段复制到硅片上的电路结构可以进行微雕,雕刻出沟槽和接触点,为电路提供空间。
可想而知,蚀刻机对工艺和技术的要求之高,不输光刻机。而这也代表着,蚀刻机的研发门槛相比来说较高,企业在关键技术上的攻关难度较大。
即便如此,中微半导体依旧在身负重任的情况下,实现国产蚀刻机从无到有的突破。并且在相对较短的时间内,掌握了全球领先的技术。
在2015年之前,美国商务部已经对中国等离子体蚀刻机实施出口管制多年。但2015年,美方解除了这一出口管制,因为中微半导体自主研发的等离子体蚀刻机,已得到一线客户的广泛应用。
美国的出口管制已经起不到任何作用。更有必要注意一下的是,中微半导体还是世界上第一家成功研制出5nm精度蚀刻机的企业。
2020年,中微半导体的5nm蚀刻机已经被台积电应用于5nm生产线。全球前十大晶圆厂中,包括台积电在内的六家巨头,均为中微半导体的客户。
此外,从65nm升级到5nm精度的研发进程中,中微半导体逐渐掌握1016项专利。并且在四次由海外巨头提起的专利诉讼中全部胜诉。
得益于中微半导体对“卡脖子”的成功反制,目前蚀刻设备的国产化率已达到20%。
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