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东京电子新型蚀刻机研发挑战泛林集团市场领导地位

来源:金属蚀刻设备    发布时间:2024-04-05 01:12:47

简要描述:

根据已公开的研究报告,东京电子的新式蚀刻机具备在极低温环境下进行高速蚀刻的能力。据悉,该机器可在...

  根据已公开的研究报告,东京电子的新式蚀刻机具备在极低温环境下进行高速蚀刻的能力。据悉,该机器可在33分钟内完成10微米的蚀刻工作。此外,设备使用了新开发的激光气体,搭配氩气和氟化碳气体以提升工艺水平。

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